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熱式氣體質(zhì)量控制器優(yōu)勢 質(zhì)量流量計

熱式氣體質(zhì)量控制器優(yōu)勢 質(zhì)量流量計

簡(jiǎn)要描述:

熱式氣體質(zhì)量控制器優(yōu)勢質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的作用。其典型的應用場(chǎng)合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣

產(chǎn)品時(shí)間:2025-05-08

詳細介紹

熱式氣體質(zhì)量控制器優(yōu)勢

工作原理

氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過(guò)測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。

熱式氣體質(zhì)量控制器優(yōu)勢

開(kāi)機操作檢查各設備連接處應無(wú)泄漏現象,,氣源的溫度和壓力應穩定,按照產(chǎn)品說(shuō)明電路連接正確之后通電。

與流量顯示儀連接

開(kāi)機操作之后,先將流量顯示儀的閥開(kāi)關(guān)置到“關(guān)閉”位,將設定值調到零,再開(kāi)氣,待零點(diǎn)穩定后,再轉到“閥控”位,然后設定值調到需要的流量值,則實(shí)際流量值會(huì )跟隨設定值而變化。

與計算機連接

開(kāi)機操作之后,通過(guò)RS485與計算機通訊,之后在計算機上將設定值調到零,再開(kāi)氣,待零點(diǎn)穩定后,再通過(guò)計算機將設定值調到需要的流量值,則實(shí)際流量值會(huì )跟隨設定值而變化。

關(guān)機操作

先斷氣,再將設定值調到零,然后斷電。

 


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